关键词： 硅材料 透射电镜 检测
作者: 陈一 曾伟 胡岗 唐雷钧 宗祥福
作者单位: 大学材料科学系
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 207～211
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）