硅材料电阻率测量双电测方法的三种组合模式

摘要：

该文概述了双电测法的三种组合模式，简要说明了三种组合模式测量电阻率时与材料厚度的关系；并对第一种组合模式（Ｐｅｒｌｏｆｆ法）测量电阻率的演变过程作了具体介绍。

关键词： 硅材料 电阻率 测量 双电测法 组合模式

作者: 鲁效明 宿昌厚

作者单位: 计量科学研究院 工业大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 216～217

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）