硅薄片材料少子寿命曲线的计算机实时测量

摘要：

该文介绍了硅薄片少子寿命曲线的计算机实时测量系统，就其基本原理、系统设计、可行性等方面进行了分析。该方法的提同，改变了由于用示波器观察少子寿命时的显示不稳定、噪声信号干扰强、一般只读取少数几个点等使少子寿命测量精度无法提高的缺点。该方法是微型计算机及高速数据接口卡在半导体少子寿命测量方面的一个实用实例。

关键词： 硅薄片 少子寿命曲线 实时测量

作者: 褚幼令 王宗欣 陈乃东 唐剑平

作者单位: 大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 221～225

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）