硅外延设备及其新进展

摘要：

该文综合性地介绍了现有常见硅外延炉的性能、特点、生产能力等，同时还 国外大直径硅片外延炉的一些新进展。

关键词： 硅 外延生长 设备 外延炉

作者: 陈明琪

作者单位: 科学院上海冶金所微电子分部

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 165～168

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）