平面热线式气敏元件及其特性研究

摘要：

以Si为衬底利用射频溅射和平面工艺技术制作Pt膜电极（加热器），再涂以SnO<,2>敏感层，制成平面热线式气敏元件。对制作工艺条件及元件的气敏特性进行研究。利用表面修饰技术可以得到选择性好的NH<,3>，CH<,4>气敏元件。

关键词： 硅 热线式 气敏元件

作者: 全宝富 王哲 全海英 孙良彦 孙承松 周立军 李云鹏

作者单位: 大学电子工程系(长春) 工业大学电子工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 611～613

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）