世界半导体硅材料的进展与趋势

摘要：

综述了国际半导体硅材料近年来的发展状况及未来的发展方向，同时叙述了半导体工业对硅材料的要求及多晶硅的状况。

关键词： 硅 晶体生长 硅片加工

作者: 蒋荣华

作者单位: 半导体材料研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 21～26

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）