基于MATLAB的硅各向异性腐蚀过程模拟

摘要：

该文根据硅各向异性腐蚀特点，利用数学软件MATLAB模拟了几种简单掩膜图形的腐蚀过程。程序从二维掩膜描述出发，找到相关晶面，产生动态的三维几何结构的输出。其结果与已有的实验相一致。

关键词： 硅 各向异性腐蚀 MATLAB 模拟

作者: 张佩君 黄庆安

作者单位: 东南大学微电子中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 269～272

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）