光致抗蚀剂Ｎｏｃｕｌｅｎ－１０感光特性研究

摘要：

该文介绍了用于负型黑底ＣＰＴ制造的日产复配型光致抗蚀剂Ｎｏｃｕｌｅｎ－１０的光谱曲线。黑底制作时光致抗蚀剂膜厚的测试方法、光致抗蚀剂注入前玻屏内表面的湿泣状态对感光性的影响、光致抗蚀剂成膜后干燥程度对感光性的影响及曝光前屏温对感光性的影响。所有实验均在生产线上完成，感光性的评价包括二个方面，即黑底条的整齐程度及黑底条宽与荫罩槽宽的比值。

关键词： 光致抗蚀剂 膜厚 感光性 曝光 黑底条宽

作者: 王鹏 翟宏峰

作者单位: 彩色显像管总厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十二届学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 166～169

在线出版日期: 1999-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）