高精度的光电式衍射光栅刻划机

摘要：

光栅刻划机被誉为“精密机械之王”,采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段,因此,对高精度的光电式光栅刻划机进行研究具有重要的现实意义.文中主要阐述了两类光电式刻划机的控制原理,并对其特点进行了比较.

关键词： 光栅刻划机 控制原理 衍射光栅

作者: 时轮 郝德阜 齐向东

作者单位: 吉林工学院机电学院(长春) 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 103-104

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）