关键词： 光栅 衍射 相位 细节距计量
作者: 陈月祥 张敬彩
作者单位: 机械科学研究院(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 2000年计量测试学术交流会
会议地点: 北京
会议语种:中文
页码: 155～158
在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）