新型5自由度光学非球面CAM系统
该文介绍自行研制的采用计算机控制光学表面成形技术的新型非球面CAM系统ZDCCOS。它包括5自由度（4轴数控、1轴浮动）的研磨热量光数控机床、专用双旋转研磨抛光头和检验面形的CQG-1型数字波面干涉仪。加工时，计算机控制非球面工件作2维摆动与旋转，研磨抛光头作3维移动，保证加工工具始终处于加工点的法向。经快速精磨和抛光，该系统加工了一个Φ300mm，F5.9的高陡度打靶聚焦透镜工艺试样，面形精度达到了 1.2λ（RMS，λ=0.6328μm）。
光学非球面 CAM 计算机控制 光学表面成形技术 干涉检测 计算机仿真
郑为民 曹天宁
中国科学院上海天文台(上海) 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室(杭州)
国内会议
成都
中文
71-73
1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）