用于制造光学薄膜的先进等离子体源

摘要：

该文就研制先进等离子体源(GIS)的意义，设计及调试进行了论述。

关键词： 光学薄膜 等离子体辅助镀膜 等离子体源

作者: 尤大纬 王宇 李晓谦 王怡德 林永昌

作者单位: 中国科学院空间科学与应用研究中心 北京仪器厂 北京理工大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电工技术学会第六届学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 553～564

在线出版日期: 1999-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）