微谐振型光纤传感器研究

摘要：

该文研究了一种由光来激励并检测的微谐振型光纤传感器，说明了利用单晶硅制作微型硅谐振器的制作方法。在实验的基础上分析了谐振器在光激励下的振动机理，给出了测量压力参数的原理。

关键词： 光纤传感器 硅微结构 谐振传感器

作者: 高金山 王家桢 童诗白

作者单位: 交通大学(北京) 大学(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第九届测试技术年会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 8～12

在线出版日期: 1998-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）