激光聚焦式微位移传感器的研制

摘要：

该文介绍一种基于光学聚焦数字伺服测量的微位移传感器。其测量范围为2000μm、 垂直分辨率为30μm、横向分辨率为1.2μm、理论响应时间3ms。

关键词： 光探针技术 聚焦 微位移传感器 伺服控制 激光仪器

作者: 李建林 彭源 谢铁邦

作者单位: 湖北工学院质检教研室(湖北武汉) 华中理工大学仪器所(湖北武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国首届计算机辅助公差设计专题学术会议暨全国高校互换性与测量技术研究会2000年年会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 291～293

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）