关键词： 光刻技术 Ｘ射线 电子束
作者: 姚汉民
作者单位: 院光电所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
会议地点: 长沙
会议语种:中文
页码: 5～10
在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）