光刻技术的进展及应用

摘要：

该文介绍了在微电子广泛应用的光刻技术的发展以及基于光刻技术的几种微机械加工技术。

关键词： 光刻 亚微米 超大规模集成电路 微电子机械系统

作者: 尤晖 李川奇 沈连官 王翔

作者单位: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会98年中国青年光学学术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 1-10

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）