关键词： 光伏扫描法 检测 硅单晶 电阻率
作者: 郭运德 蒋建国
作者单位: 单晶硅厂
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 218～220
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）