硅基微机械式光调制技术研究

摘要：

光调制器是光纤通信系统的重要器件。硅基微机械光调制技术使用常规硅平面工艺方法，制作较为简单，成本较低。同时?又具有高数据速率（几Mb/s）和宽频带(1.3μm-1.55μm)性能，满足日益增长的波分复用(VDM)全光网络发展的需要。该文中研究人员讨论了有关硅基微机械光调制技术的基本原理和一些相关的制作方法，制作了多层膜反射调制器样品。

关键词： 光调制器 光纤通信系统 硅基微机械式光调制

作者: 柯菁华 茅惠兵 张杰伟 赖宗声 郑筱莉

作者单位: 华东师范大学电子系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 115～118

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）