溅射沉积Ar等离子体的发射光谱研究
光谱方法是诊断等离子体最有力的工具之一，可以定量地给出等离子体的多种重要参数，如等离子本中的物种、能态分布、温度、浓度等。该文介绍了一种用于ECR微波等离子体和辉光放电等离子体诊断的发射光谱装置，其特点是光学收集系统的水平位置可以微调，因而可以对放电区域进行空间分布诊断。同时该文还报道了利用这套装置对Ar气的辉光放电等离子体进行诊断得到的一些结果。
Ar等离子体 发射光谱装置 空间分布诊断 辉光放电
张家良 王平生 陆文琪 邓新绿
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
国内会议
大连
中文
58-61
1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）