关键词： 靶材 磁控溅射
作者: 夏慧 吴丽君 韩雪
作者单位: 有色金属研究总院
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 239～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
