关键词： 固体薄膜 高纯水
作者: 闻瑞梅
作者单位: 科学院半导体研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 290～292
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）