Ag<,2>O-SnO<,2> MIS结构的制备及气敏特性研究

摘要：

该文报导在n型Si衬底上制作的一种结构为Pt/Ag<,2>O-SnO<,2>/SiO<,2>/Si/Al的MIS二极管，其敏感栅为Ag<,2>O-SnO<,2>复合薄膜。

关键词： 固态场效应气体传感器 催化金属栅 气敏氧化层复合结构

作者: 李建平 王利

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 255～257

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）