超分辨共焦扫描显微镜光学膜片研制

摘要：

该文证明了在圆形-圆形光瞳相干成象时，用透过函数为零阶贝塞尔函数的光学膜片对象函数进行调制可以达到和圆形-环形光瞳完全相同的效果。实验结果表明，所加工的位相型光学膜片完全达到了设计要求，分辨率分别是普通显微镜的1.7倍，圆形-圆形光瞳共焦扫描显微镜的1.25倍。

关键词： 共焦扫描显微镜 超分辨率 光学膜片

作者: 蒋式弘 张庆 陈明仪 沈建忠 黄宣劭

作者单位: 上海大学机电学院精密机械系(嘉定) 上海市激光技术研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 14-16

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）