提高功率HBT可靠性技术研究

摘要：

功率HBT的可靠性是制约器件实用化的关键因素之一。该文对影响HBT器件可靠性的一些机理进行了分析，开展了相关工艺的研究，并制作了性能良好的器件样品。

关键词： 功率 HBT 可靠性技术

作者: 焦智贤 蔡克理

作者单位: 集成电路国家级重点实验室,电子工业部第十三研究所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 165～168

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）