硅烷发生中液氨回收循环使用

摘要：

在高纯硅烷气体生产中，建立液氨回收系统，使液氨得到合理回收，并循环使用，减少氨耗，降低产品成本，从根本上解决环境污染。

关键词： 氨回收 综合利用 硅烷

作者: 刘建军

作者单位: 有色冶金设计研究总院

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国重冶新技术新工艺成果交流大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 241～244

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）