关键词： ＡＩＮ薄膜 离子束辅助沉积 沟道效应
作者: 汪炳尧 牟海川 杨石奇
作者单位: 科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室(上海)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
会议地点: 长沙
会议语种:中文
页码: 195～199
在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）