单晶硅各向异性腐蚀模拟中的存储结构和算法
本文研究和实现了一种在单晶硅各向异性腐蚀模拟中基于晶格结构模型的表示方法和存储技术,以及相应的模拟算法.基于这种技术和算法的模拟系统在时间和空间的效率方面都有很大的提高,其所能模拟的晶体尺寸已经达到了微米级,可以初步满足对实际加工工艺模拟的需求.
各向异性腐蚀 数据结构 单晶硅 存储结构
尹宝林 韩秋菊 康建初 王迪
北京航空航天大学计算机系(北京)
国内会议
上海
中文
122-124
2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）