高支化碱溶性感光聚合物的光成像研究
高支化聚合物是近年来发展起来的一种新型功能材料，具有低粘度的特点，适合作为反应性树脂、特别是作为光固化的低粘度树脂。合成了三类高支化碱溶性聚酯树脂：高支化碱溶性丙烯酸化聚酯，RS 1；含光敏结构的高支化碱溶性丙烯酯化聚酯，RS 2；环氧树脂改性高支化碱溶性丙烯酯化聚酯，RS 3。对树脂的碱溶性、感光性和光成像性进行了研究。研究结果表明，高支化树脂作为光致抗蚀剂材料具有优异的成像显影特性，通过控制成像显影条件，图像分辨率可达到接触曝光的最好水平。
高支化聚合物 聚酯 光致抗蚀材料 光成像性
冯宗财 王跃川 陈毅敏 陈波
四川大学高分子材料科学与工程系 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)
国内会议
威海
中文
65～69
2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）