沟槽型衬底台阶的制备及其特性研究

摘要：

该文工作由光刻胶加上YBa<,2>Cu<,3>O<,7－δ>(YBCO)薄膜作掩膜，以离子刻蚀方式在LaAlO<,3>(LAO)和SrTiO<,3>(STO)衬底上刻出沟槽型台阶、台阶角度可达45度以上，大部分区域在50至60度之间。

关键词： 高温超导结 沟槽台阶 离子刻蚀 超导器件

作者: 马平 戴远东

作者单位: 大学物理学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国超导薄膜和超导电子学器件学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 73～78

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）