基于MEMS工艺的安全起爆芯片

摘要：

　　针对MEMS 火工品低能化带来的安全性问题，设计了一种基于MEMS 工艺的安全起爆芯片，采用MEMS工艺制作了Ni-Cr 换能元层、绝缘层、导线层，一体化集成了含平面开关的安全起爆芯片；通过对形貌、表面粗糙度、厚度等进行表征分析，确定了结构参数，并对安全起爆芯片性能进行了测试。结果 表明MEMS 平面开关实现了通断转换，可以提高安全起爆芯片的安全性。本研究为MEMS 火工品安全性技术提供支撑。

关键词： 安全起爆芯片 MEMS技术 Ni-Cr换能元 性能测试

作者: 薛艳 刘云 任炜 任小明 刘兰

作者单位: 陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室,陕西 西安,710061 北方特种能源集团有限公司,陕西 西安,710061

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届纳米结构含能材料及其应用技术学术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 10-13

在线出版日期: 2020-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）