基于MEMS工艺的电极塞换能元一体化集成技术

摘要：

　　针对传统电火工品桥丝焊接存在虚焊、人工效率低等问题，开展了基于MEMS 工艺的电极塞换能元一体化集成技术研究。提出了电极塞换能元一体化集成设计的方案，通过在传统电极塞中引入MEMS 工艺，形成了一体化集成的电极塞换能元。所设计的电极塞换能元具有平面结构、无人工焊接、批量化等特点，在10μF/15V 条件下能够可靠作用。本研究为新一代电火工品设计提供技术支撑。

关键词： 换能元 电极塞 MEMS技术 集成

作者: 陈建华 刘兰 任小明 解瑞珍 刘卫 薛艳

作者单位: 陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室,陕西西安,710061

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届纳米结构含能材料及其应用技术学术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 18-20

在线出版日期: 2020-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）