磁流变抛光二次非球面工件位置对刀校正
近年来，磁流变抛光作为一种确定性加工方法已成为获得高精度非球面的重要手段.作者以回转对称二次抛物面为例，分析了磁流变抛光中使用抛光轮校正工件位置的理论方法，并通过实验在Φ230 mm 熔石英样件上验证对刀理论，分别在X 方向和Y 方向以少于3 次的调整次数校正工件位置，实现了X 方向、Y 方向偏置量均低于0.009 mm；采用磁流变抛光技术对工件进行了修形实验验证，加工后面形精度RMS 由λ/7 收敛至λ/40.实验结果表明：作者提出的非球面工件位置对刀校正方法简单、可靠，能够很好地对工件进行精确定位，利于高精度非球面磁流变抛光加工.
非球面 磁流变抛光 对刀校正 面形精度
张瑜 张峰 郭芮 苏瑛 张云龙 许增奇 王阜超
西安应用光学研究所,陕西 西安 710065
国内会议
南京
中文
518-523
2022-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）