Multiple Electron Beam Lithography Future Player of MiniFab

作者: Xijun Li

作者单位: Zhejiang Key Laboratory of 3D Micro/Nano Fabrication and Characterization,Westlake University,China

会议类型: 国内会议

会议名称: 第9届纳米操纵、制造与测量国际会议

会议地点: 江苏镇江

会议语种:英文

页码: 73-73

在线出版日期: 2019-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）