测量系统分析在粗糙度测量中的应用

摘要：

　　为了正确合理地将测量系统分析运用到实际工作中以确保数据的有效性，结合实际产品需求，选用表面粗糙度作为实际测量参数，从分辨力，偏倚，线性，稳定性以及重复性和再现性等几个方面，全面阐述了测量系统分析在粗糙度测量工作中的实际应用以及常见误区。该应用方法对测量系统分析在其他各个测量领域的广泛和正确应用提供参考和指导。

关键词： 计量学 测量系统分析 粗糙度 分辨力 偏倚 线性 稳定性

作者: 黄彩清 罗金刚

作者单位: 深圳赛意法微电子有限公司,广东深圳518038

会议类型: 国内会议

会议名称: 第23届国际测量联合会(IMEKO TC4)国际研讨会暨第5届中国电磁计量技术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 92-95

在线出版日期: 2019-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）