适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法
空间干涉测量系统是空间引力波探测的重要组成部分.本文介绍了一种全玻璃材料的差频激光干涉仪的组成结构和工作原理,对差频干涉仪中双相干光束的匹配对准难题,介绍了一种适用于光黏装配工艺的角度公差和位置公差保证方法.这种方法采用了监测系统和微量调整机构相结合的方式,首先,监控系统可以实现光线相对位置的实时测量,给出被调整光线的调整方向和调整量；然后,微量调整机构可以在平面移动和轴向转动3个自由度上,对目标器件实现微米量级的微量调整；监控过程和调整过程反复迭代,可实现对光学元器件的高精度位置控制和角度控制.实验结果表明,在调整方向上角度公差优于80 μrad,位置公差优于85 μm.本方案基本满足差频激光干涉仪的装配精度需求,为后续更高精度的装配奠定基础.
激光干涉仪 氢氧离子催化黏接 高精度测量 高精度装配 空间太极计划
姚东 李钰鹏 赵亚 王智 沙巍 王永宪
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院大学研究生院,北京100049 中国科学院大学研究生院,北京100049 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033
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1945-1953
2018-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）