激光干涉仪测量直线度的不确定度评定

摘要：

　　激光干涉仪短距离直线度镜组由渥拉斯顿棱镜及与其分束角相匹配的双平面反射镜组成，可方便快捷地实现大型机床、坐标测量机、直线度检测仪等长距离导轨的直线度测量。在获得直线度测量结果的同时，评估测量结果的精度，以Renishaw激光干涉仪短距离直线度镜组为例，通过建立最小二乘法评定的直线度误差数学模型，分析测量影响量、概率分布及相关性，评定激光干涉仪直线度测量结果的不确定度。评定过程对于利用最小二乘法评定激光干涉仪测量形位误差的精度评估具有一定的通用性示范及参考价值。

关键词： 激光干涉仪 直线度 不确定度

作者: 刘芳 张路楠 刘莹 赵文杰 宋锋

作者单位: 沈阳机床股份有限公司计量理化部,沈阳110142 沈阳鼓风机集团自动控制系统工程有限公司研发部,沈阳110142

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届沈阳科学学术年会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2018-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）