一种新型半导体材料电火花线切割弯丝检测方法研究
与金属材料切割不同，半导体材料由于体电阻较大且存在接触势垒，即使在与电极丝发生微接触构成电路短路的情况下，也能够进行电火花线切割加工。而目前常用的电流脉冲概率检测法与往复渐进运动控制法并不能判断电路是否短路和避免电极丝弯丝状态。为此，提出一种在电极丝后侧增加一根平行的金属丝进行弯丝检测的新方法，设计了检测丝装夹定位机构和相应的检测电路，并进行了实验论证。试验表明该方法可以快速精确地判断弯丝状态，减少电极丝断丝概率，并提升加工效率。
电火花线切割 微接触 弯丝检测 半导体材料
罗福源 焦银亮 杨杰
南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016
国内会议
2018年全国电火花线切割加工技术研讨会暨江苏省、山东省特种加工学术年会
山东淄博
中文
21-27
2018-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）