工业硅粉制备氮化硅的研究
以工业硅粉为原料,通过直接氮化法制得氮化硅.采用XRD测试方法主要研究了氮化温度、氮化时间和添加剂(α-Si3N4)含量对氮化产物物相组成的影响.试验结果表明:工业硅粉较优的氮化条件为氮化温度1380℃;氮化时间2 h;添加剂含量5%.在较优的氮化条件下,硅粉实现完全氮化,并且氮化产物中α-Si3N4与β-Si3N4质量的比值达到16.98.
工业硅粉 氮化硅 氮化温度 氮化时间 添加剂
金星 孔剑 姜胜南 魏冬卉 崔晓华 邢鹏飞
东北大学冶金学院 沈阳中国 110189
国内会议
贵州
中文
318-322
2018-09-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)