晶体硅金刚线切割废料氮化反应的研究
以晶体硅金刚线切割废料为原料，使用卧式氮化炉进行氮化反应，通过X-射线衍射仪(XRD)以及扫描电子显微镜(SEM)研究不同氮化温度(1300℃、1350℃、1400℃、1450℃、1500℃)、不同氮化时间(1 h、1.5 h、2h、2.5 h、3 h)以及不同添加剂含量(0、5％、10％、15％、20％)对氮化反应的影响.结果表明，在一定范围内氮化温度的升高有利于α-Si3N4、β-Si3N4和Si2N2O三种物相的生成；氮化时间的增加一方面有利于α-Si3N4、β-Si3N4和Si2N2O三种物相的生成，但是氮化时间过长会导致α-Si3N4转变为β-Si3N4以及Si2N2O转化为Si3N4；以α-Si3N4为添加剂可明显促进氮化反应的进行程度，有利于α-Si3N4的生成.
切割废料 氮化反应 氮化温度 氮化时间 添加剂含量
孙钰杰 金星 孔剑 董开朝 邢鹏飞
东北大学冶金学院 沈阳中国 110819
国内会议
贵州
中文
344-348
2018-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）