用晶体硅金刚线切割废料制备高纯硅的研究
主要进行了晶体硅金刚线切割废料制备高纯硅的研究.首先利用X射线荧光光谱(XRF)、激光粒度仪、X射线衍射仪(XRD)、傅里叶红外光谱仪以及化学分析方法对切割废料的性质进行了研究.结果表明：切割废料中主要化学组成元素是Si,同时含少量金属杂质元素Al和Fe,切割废料粒度主要分布在0.14～8.71 μm,切割废料中主要物相是单质硅,其中硅百分含量为83.99％,硅氧化物百分含量为13.5％,其他杂质百分含量为2.51％.然后将切割废料粉体压制成球团,将球团置于常压感应熔炼中进行熔炼,重新将其制备成高纯硅锭.产物硅纯度高达99.06％,出硅率达到60.32％.
晶体硅 金刚线 切割废料 制备 高纯硅
孔剑 邢鹏飞 郭晓琳 孟凡兴 金星 魏冬卉
东北大学 沈阳中国 110819
国内会议
贵州
中文
404-407
2018-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）