半导体激光器失效分析方法与失效机理研究

摘要：

　　使用红外热像仪、微光显微镜(EMMI)、聚焦离子束(FIB)、高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)和能量色散X射线能谱仪(EDS)等技术手段对在长期老化过程中发生COD的激光器样品进行了失效分析，总结出相应的长期老化失效机理。

关键词： 半导体激光器 失效分析 失效模式 失效机理 老化

作者: 张思雨

作者单位: 北京航天光华电子技术有限公司,北京100854

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018年环境技术研讨会

会议地点: 海拉尔

会议语种:中文

页码: 63-67

在线出版日期: 2018-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）