基于真空环境的位移传感器校准系统精度研究
介绍了基于真空环境下位移传感器静态校准系统原理及其精度验证。传统的位移传感器校准装置和方法都在大气环境下进行，影响因素较多，测量精度也不易提高。该装置通过刚性传动装置，使真空中的位移与空气中的位移保持一致，由位移传感器测得空气中的位移值，由单频激光干涉仪通过迈克尔逊光学系统测得真空中的位移，两者之差，即是传感器的示值误差。最后，按照JJF 1305-2011的校准要求，对被测传感器进行了精度校准。
计量学 真空 位移传感器 校准 精度
叶颖谦 任国营 李伟仙 范乃胤 朱呈吉 董一凡
北京信息科技大学,北京100192 中国计量科学研究院,北京100029 河南省计量科学研究院,河南郑州450000
国内会议
杭州
中文
62-65
2018-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）