氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响

摘要：

　　采用双靶射频磁控溅射沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池的低阻窗口层.研究了在溅射功率60 W、溅射时间30 min的工艺条件下,氩气(Ar)流量对AZO薄膜的结晶性、表面形貌、光透过率、电阻率、载流子浓度等光电性能的影响.结果表明,最优Ar气流量为22 cm3/min,该流量下AZO晶粒大,结晶性能好,AZO薄膜的载流子浓度高,电阻率小,薄膜在400～1100 nm波长下的光透过率为87.2％.

关键词： Ar流量 AZO 薄膜 磁控溅射

作者: 杨盼 赵晓冲 杨丽军 顾友辰 林红 赖新春

作者单位: 表面物理与化学重点实验室,四川江油621908;清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084 表面物理与化学重点实验室,四川江油621908 清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二十届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 呼和浩特

会议语种:中文

页码: 91-94

在线出版日期: 2018-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）