关键词： 高分辨率 高能 X光图像 编码器孔径板 半导体器件工艺
作者: 魏珂 韩阶平 田如江 刘辉
作者单位: 科学院微电子中心
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 248～250
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）