ＬＣ１３强流氧离子注入机高电位参数的监控

摘要：

主要介绍ＬＣ１３强流氧离子注入同高电位参数监测和控制的要求，原理。并通过其监测、控制方式的分析，提出了提高稳定度，减小纹波系数及抗干扰等方面的方法。

关键词： 高电位参数 监测 控制

作者: 沈丽 杨春芳

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 211～215

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）