β-ＳｉＣ薄膜材料的ＳＥＭ研究

关键词： β-ＳｉＣ薄膜材料 扫描电镜应用

作者: 张志勇 赵武 王雪文 陈治明 张志勇 王雪文

作者单位: 大学电子科学系(西安) 理工大学电子工程系 院西安光机所,西安

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国扫描电子显微学会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 51～52

在线出版日期: 1999-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）