中空阴极磁控溅射法制备氮化碳薄膜的光电子能谱及红外光谱研究

用中空阴极磁控溅射的方法,研究人员制备了氮化碳薄膜。X射线光电子能谱红外光谱研究表明,膜中含有两种相的氮化碳。第一种相对应的结构为C<,2>N,碳以sp杂化形式和风原子化合,而第二种相对应的结构为β-C<,3>N<,4>,碳原子以sp<”3>杂化方式和氮化合。
β-C<,3>N<,4> 中空阴极磁控溅射 X射线光电子能谱 红外光谱
大学物理系加速器实验室 杨业智
大学分析测试中心
国内会议
重庆
中文
867~869
1998-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)