自动直径控制与晶体质量

摘要：

该文对比研究了晶体生和长过程中自动等径控制与人为直径控制各自的特点；指出了ＡＤＣ（自动直径控制）技术生长晶体过程中固液界面的变化与控制过程的联系；论述了引起界面变化的各种因素及其抑措施；同时，还讨论了ＡＤＣ技术对晶体质量的作用。

关键词： ADC技术 固液界面 主动控制 被动控制 晶体质量

作者: 曹野垠 胡静

作者单位: 光电技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届硅酸盐青年学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 164～169

在线出版日期: 1998-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）