Shock wave assisted removal of micron size dust particles from silicon wafer surfaces

会议类型: 国际会议

会议名称: 第24届国际激波学术会议（the 24th International Symposium on Shock Waves）

会议地点: 北京

会议语种:英文

页码: 1231-1234

在线出版日期: 2004-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）