扫描电镜中的低真空与超低真空技术

摘要：

无论是低真空扫描电镜技术还是超低真空扫描电镜技术都给人们提供了一个特殊的实验条件，通过控制样品室内的气体的种类和压力，控制样品台的温度，纪录样品的化学(物理)变化过程，这是一种非常有益、有趣和实用的实验技术，必将会在各个领域得到广泛的应用。可惜的是，随着老一代科研工作者的退休，他们的技术和经验没有得到继承和发展。目前，国内使用的低真空(超真空)扫描电镜都是进口的机型。

关键词： 扫描电镜 低真空技术 超低真空技术

作者: 唐圣明

作者单位: 中科院委

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市老科学技术工作者协会第十五届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 9-12

在线出版日期: 2017-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）